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Beneq WCS 600

适用于工业OLED封装的薄膜系统

  • 产品信息
  • 技术规格

倍耐克WCS 600是用于研发和试生产的卷对卷原子层沉积系统。 该系统特别适于AMOLED显示屏、OLED照明、柔性光伏电池、电池和柔性玻璃镀膜的应用。

  • 将高品质原子层沉积膜连续沉积到柔性基底卷上,如聚合物、金属或纸
  • 敏感基底的加工温度(<150℃)较低
  • 具有广泛的工作压力范围,适用于线路集成
  • 系统沉积速度具有高度拓展性,可达到10米/分钟

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