+358 9 7599 530
联系我们
公司:
芬兰倍耐克有限公司上海代表处
电话:
021-32528181
邮箱:
ALD设备 chunliang.liu@beneq.com
显示屏 tianxiang.liu@beneq.com
地址:
上海市浦东大道1085号
中信五牛城C座406
当前位置: 首页 > 产品 > 薄膜 > ALD设备

Beneq P400A和P800

适用于工业生产的薄膜系统

  • 产品信息
  • 技术规格

倍耐克P400A和P800是专为工业规模生产设计的原子层沉积系统。 它们是从研发阶段到大规模的工业化生产的理想工具。该系统具有技术可靠性以及工业应用成熟性。 该设计主要基于在严苛工业应用中连续(24/7)运行25年的丰富经验。

我们的大多数工业客户需要专门的设备和工艺流程。
倍耐克拥有多台P400A和P800系统,以满足应用开发和薄膜研发的需求。
由此,那些正在寻找生产设备的客户可以在进行投资前,验证工艺、设备的技书性能及相关成本。
此外,我们还提供小规模量产的可能性,直至客户可以实现自主生产。

扩大到大批量生产和厚膜堆叠生产

 与常规理解不同的是,许多原子层沉积使用的是叠层模块(>1μm)。 批次生产需要优化前躯体源材料的通入量和先进的工艺尾气处理系统。 P400A和P800配备了多重过滤系统,能够处理大量的前躯体。 在工艺期间,前躯体的吸收装置可保证系统薄膜生长过程中的化学物质及生长的薄膜不进入真空泵。
尾气过滤器体积较大,而且具有高的气体通过率。 该系统的过滤器处理能力是在研发模式下的常规清洗间隔大约为1年,在生产模式下的间隔为3至6个月。
对于工艺和镀膜使用设计,用于纳米叠层材料、混合膜和复杂镀膜设计结构的用户友好型配方编辑器能够在同一批次中处理数百个不同的镀层。

性能亮点

  • 研发阶段后立即扩大到生产阶段。
  • 用于可重复生产控制的日志记录。
  • UPS支持功能。
  • 维护需求更低。
  • 采用独特的迷你尺寸设计,可满足批量装载、基底尺寸、污染控制的灵活性。
  • 采用迷你尺寸和专有的过滤器设计,可以从P400系统上分离进行清洗工作
  • 进行清洁时无需停机。
  • 具有高性价比的热腔和大容量批量系统。
  • 独特的热稳定源供应系统、嵌入式快速计量阀和集成的前驱体通道。
  • 真空泵系统采用专有的大容量前驱体吸附和过滤系统,可实现大批量加工。
  • 除了正常的加热回路以外,附加的PLC可以通过专用热电偶避免过热,从而提高生产安全性。
  • 基于30年发展并经过业界证明的生产重复性和可靠性。